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(ASML)台灣艾司摩爾科技股份有限公司

把握臺灣半導體先進製程商機,設備大廠ASML將深化在臺研發與供應鏈布局連結至採訪影片

隨著半導體晶片線徑越做越小,關鍵設備光刻機(lithography machine)的精密度也越來越高。目前業界最先進的極紫外光EUV(Extreme Ultra-Violet)微影光刻機台,因極紫外光所使用光源的波長為 13.5奈米,不是大家都可以做得出的產品。全球光刻機有三家主要供應商:ASML、Nikon 及 Canon。ASML以市占率超過八成居首,而且僅有ASML能提供最先進的 EUV微影光刻機台,每座EUV機台售價超過1億美元,在7奈米以下的製程,非使用這種精密設備不可,ASML可以說市場領導者。

ASML在臺灣營運概況

1984年荷蘭半導體設備廠ASMI與Philips合資設立一家光刻機專業廠商,名字仍叫ASML。從30位員工開始,發展成為今天的知名跨國企業。ASML目前全球員工25,000人,其中荷蘭總公司大約有14,000名,臺灣員工則有2,500人,大部分為研發人員,研發支出占總營收的16%。除荷蘭之外,目前ASML在美國、韓國、臺灣、中國、日本和新加坡設有營業據點。

臺灣是全球半導體主要製造基地,也是ASML的重點銷售國家,為了就近服務客戶,ASML於2003年在臺灣成立分公司。2018年年底,ASML將臺灣總部遷至新竹市的台肥大樓,占地4,000餘坪,辦公室採歐風設計,提供員工健身房、視野極佳的咖啡廳等休閒設施,以激發創意。ASML在臺主要業務是微影光刻機台的設備製造、銷售、訓練及售後服務。員工從開始時不到100人發展到今日2,500人的規模,其中客戶支援工程師約1,600人。

ASML在臺投資規模的擴大,主要是2016年併購上櫃公司漢微科(Hermes Microvision, Inc., HMI),將其先進的電子束檢測技術納入光刻機,以優化5奈米以下EUV微影光刻機台之曝光精準度。併購擴大了ASML在臺投資規模,也強化了和在地供應商的連結,相關技術的訓練也留在臺灣。

ASML全球副總裁暨臺灣分公司總經理陳文光簡要說明臺灣營運狀況:「臺灣有五個營運據點,分別是新竹總部、林口、臺中、臺南客戶支援辦公室,以及林口和台南兩個研發和製造廠。林口廠區則負責機台翻新業務、光學量測設備模組整合設計及組裝,及光罩傳輸模組的製造,並設有全球培訓中心,負責ASML其他國家的員工和客戶訓練。台南廠區則是接收漢微科電子束檢測研發與設備製造團隊,並將在該廠區內,設置EUV培訓中心,就近服務客戶」陳文光總經理並指出,「臺灣的工程師大都有碩博士的學歷,多數來自物理、化學等基礎科學領域,訓練紮實、勤奮認真,工作能力很強。」母公司若有職位空缺都會公布在公司網頁上,臺灣員工也有很多機會可調派到海外工作。

利用臺灣的優勢,擴大研發能量

陳文光總經理稱讚 「臺灣的基礎設施完善、人才優秀、產業聚落完整,機械產業對於光刻設備製造的互補性高,都是ASML加碼投資臺灣的考量因素。」在產學合作研發方面,ASML贊助由科技部主辦的「臺灣科普環島列車」,與成功大學光電工程學系合作,整合成大、交大、中央、逢甲、中山、東華等六間大學共80位光電學系所學生,結合3D光學投影、光感測與程式模擬等應用,透過軟體、投影機和X-box Kinect感測器來進行沙箱內地形的模擬,培育更多的光電人才。

ASML將荷蘭「循環經濟」的理念,應用在產品設計與銷售策略上。除了提高能源效率,將資源及物料的使用效率最佳化,臺灣具備提升ASML設備升級和循環效率的優勢。ASML林口廠營運總經理趙中臻解釋「ASML也提供舊設備重新翻修升級的服務,來滿足客戶的需求,延長設備的壽命。ASML未來在臺灣將進一步拓展研發能量,以即時掌握設備改善的方向與狀況,例如未來將在台增設零件更新中心將設在臺灣;也將規劃其他零組件在臺生產。」

提高本地零組件的自製率

趙中臻總經理認為亞洲是全球半導體的製造基地,臺灣半導體製造業是ASML的重要客戶,隨著臺灣先進製程發展,ASML將提高設備在臺採購比率,已敲定先提高「深紫外光光罩傳輸模組」設備的零組件在臺製造比率。

就ASML EUV微影光刻機台的先進科技而言,臺灣生產的高品質零組件是ASML優先採購的對象,將與臺灣供應鏈廠商溝通,從中找尋適合的供應商,確保零件供應的品質。

攜手臺灣、展望未來

擴大技術合作的同時,在臺灣的投資環境方面,陳文光總經理提出ASML關切智慧財產權保護議題,希望臺灣強化智財權的保護。此外,外商申請投資臺灣的各項審核行政流程方面,亦有簡化空間。另外在機台運送與倉儲方面,由於一台EUV機台龐大,在運輸時的交通管制問題,需政府協助;在桃園機場進口保稅倉庫僅可短期儲存,也需找尋能放置較久的倉庫用地。

最後,身為全球頂尖的半導體設備商,陳文光總經理期許在臺灣的投資持續成長,並將引進更多的技術與人才,歡迎大家一起加入ASML。企業社會責任是ASML未來關注的重點,回饋臺灣社會,從事公益環保活動,ASML將與臺灣人民一起成長。


資料來源: 經濟部投資業務處










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